Kompetenzen im Konsortium

Fraunhofer-Institut für Betriebsfestigkeit und Systemzuverlässigkeit LBF

Projektleitung

Das Fraunhofer-Institut für Betriebsfestigkeit und Systemzuverlässigkeit LBF bringt seine umfassende Expertise in der Synthese neuer, bedarfsgerechter Polymere mit wohldefinierten Zusammensetzungen durch kontrollierte und lebende Polymerisationen in das Projekt ein. Diese Kompetenzen umfassen die Herstellung von Polymeren mit spezifischen Polymerarchitekturen, wie Block- und Pfropfcopolymere sowie Sternpolymere, und die Herstellung von Polymeren mit enger Molmassenverteilung. Das LBF hat bereits Patente für die Synthese von Resistpolymeren. Diese Kernkompetenzen sind essenziell für die Entwicklung neuer Resiste, die genau auf den Fertigungsprozess abgestimmt sind und hohe Auflösungen bei gesteigerter Sensitivität erreichen sollen.

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS

Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS bringt seine Expertise in der Fertigung elektronischer Nanosysteme in das Projekt ein. Das ENAS konzentriert sich auf die Optimierung der lithografischen Prozessschritte, um die Leistungsfähigkeit der E-Beam Lithografie weiter zu steigern. Hierbei werden die Hauptbestandteile des Resists, einschließlich der fotosensitiven Komponenten und des Lösungsmittels, im Kontext der Nachhaltigkeit realisiert. Die Zusammenarbeit zwischen dem LBF und dem ENAS ist für die Entwicklung neuer, hochleistungsfähiger Resiste und die Optimierung der lithografischen Prozessschritte essenziell.